Parylene P6 |
Parylene Coating System |
파릴 렌은 폴리 (파라-자일 릴렌) 폴리머 그룹의 약칭입니다.
폴리머는 서로 다른 파라-자일 릴렌 박막으로 구성됩니다. 중합체는 다른 치환 된 파라-자일 릴렌으로 구성됩니다. 코팅의 원래 기본은 이합체입니다. 이것은 소위 단량체라는 두 개의 동일한 하위 단위로 구성된 분자 화합물입니다. /> |
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Parylene P6
Deposition materials
Parylene N, C, D, F-VT4
Range of thickness
0,05 bis zu 30 micrometers
Dimensions
Width approx. 700 mm (27.6“) Depth approx. 500 mm (19.7“) Height approx. 700 mm (27.6“)
Pyrolysis
1,6 kW / max 750 °C
Chamber
Diameter 200 mm (7.9“)
Carousel Height 200 mm (7.9“)
Diameter 170 mm (6.7“)
Height 170 mm (6.7“) |
Cold trap
Liquid N2
Pump system Electromechanical
Two-stage rotary pump
Ultimate pressure Pumping speed 16 m3/h
1 x 10-3 mbar
Control
Windows based full pc system control
Connections software
230 V/ 16 A/ 50-60 Hz
Options 20 mm (0.8“) Exhaust tube
Heating jacket to improve the deposition rate of Patylene D
Capacity Silane vaporization system
16 m3/h |