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Tetra 2800
Low pressure plasma systems
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그 과정에서 분자 오염 잔류 물도 분해됩니다. |
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이는 기체 및 액체 시작 물질을 진공 챔버에 공급함으로써 이루어집니다. |
Control cabinet
integrated: W 600 mm, H 1700 mm, D 800 mm
Vacuum chambers
∅ 1200 mm, D 2500 mm
Chamber volume
approx. 2800 litres
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Gas supply
3 gas channels via MFCs
Generator
all common plasma frequencies are available
Control
PC control (Windows) with industrial field bus |
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